A rézporlasztó célpontot számos vékonyréteg-alkalmazáshoz használják, beleértve a logikai és memóriaeszközök vezetőanyagát. A Fabmann különböző paritású prémium réz célanyagokat tud szállítani, például 4N (99,99%), 4N5 (99,995%) és 5N (99,999%) az OEM PVD (fizikai gőzlerakódás) rendszerekhez, és nagy hangsúlyt fektetünk a fejlett termomechanikus feldolgozásra (ATMP) ), hogy a kristálytani textúra és a szemcseméret jobb minőségét biztosítsa az ultramagas teljesítmény minimális költséggel. 80μm-nél kisebb szemcseméretű és 5ppm-nél kisebb oxigéntartalmú rotációs és síkbeli rézporlasztó célanyagokat egyaránt tudunk szállítani.
A Planar Copper Target gyártási folyamata
A gyártási folyamat ellenőrzése létfontosságú a kiváló minőségű rézporlasztási célanyagok biztosításához, és általában a következő lépésekből áll:
√ Nagy tisztaságú réztömbök előállítása elektrolitikus finomítással, vákuum-indukciós olvasztással és vákuum-elektronsugaras olvasztással.
√ A második lépés az, hogy a rézöntvényt egymás után melegkovácsoláson, hőkezelésen, hidegkovácsoláson és hőkezelésen kell elvégezni, hogy előkezelt terméket kapjunk.
réz nyersdarabok.
√ Az előkezelt rézdarabot ezután egymás után meleghengerlésnek, hőkezelésnek, hideghengerlésnek és hőkezelésnek vetik alá, hogy réz célpontot kapjanak.
üres.
√ Távolítsa el a réz céltárgyak bőrét
√ Végezzen egyedi megmunkálási munkát a kívánt végső méretek és felületi minőség elérése érdekében, és hűtőfolyadék permetezése szükséges a rézcső megakadályozása érdekében
célpont a megmunkálási feszültség miatti deformációtól.
√ Köszörülés és polírozás után megkapjuk a kész réz célanyagot.
Síkbeli réz célméret
√ 750 x 250 (T: 20 mm),
1200 x 250 (T: 20 mm),
914 x 914 (T: 12 mm),
500 x 500 (T: 4 mm),
személyre szabott méret max. 3,000mm hosszúsággal
√ Személyre szabott egyedi célpont CNC-vel, fúrással, menettel, ferdítéssel és hornyokkal
√ A kör alakú, sík céltárgy átmérője 2 hüvelyk és 6 hüvelyk között, 1/8 hüvelyk vagy 1/4 hüvelyk
√ Ragasztási szolgáltatás elérhető
A forgó rézcél gyártási folyamata
A forgatható porlasztó céltárgyak, más néven forgatható katódok vagy forgó célok, speciális anyagok, amelyeket a magnetronos porlasztásnak nevezett porlasztásos leválasztási technikában használnak. A porlasztás egy fizikai gőzfázisú leválasztási (PVD) eljárás, egy nagy sebességű eljárás, amelyben a szupergyors ionok eltalálják a porlasztó célpontot, és kisméretű részecskéket távolítanak el, amelyet széles körben használnak a félvezető-, elektronikai- és vékonyréteg-iparban, hogy különféle anyagokból vékony filmeket vigyenek fel hordozókra. A forgó rézcél szokásos gyártási folyamata a vákuumolvasztással, az elektrolitikus rézöntvények öntésével, valamint a bugák forró extrudálásával és feldolgozásával kezdődik. Először a nagy tisztaságú rézöntvényt vákuumolvasztással állítják elő, majd forrón extrudálják rézcső nyersdarabká. Ezt követően hidraulikus kalibrálógéppel kiegyenesítik, hogy 1 mm/m-nél kisebb egyenességet érjenek el. Ezt követően a kiegyenesített cső nyersdarabot CNC gépen precíziós feldolgozásra kerül a méretpontosságig, miközben a felületi érdességnek meg kell felelnie az előírt követelményeknek. Az alábbiakban részletes gyártási folyamat látható:
√ A nagy tisztaságú elektrolitikus rezet vákuum-indukciós olvasztókemencébe helyezik, majd vákuumolvasztást hajtanak végre.
√ A kapott olvadt rezet a réz-köröntvény öntőkemencéjének kristályosítójába áramlik;
√ A réztömb ezután átkerül az extrudáló hengerbe a forró extrudáláshoz, és legalább 25 KN nyomást igényel 400-500 fokos hőmérséklet mellett. Ez
létfontosságú, hogy a nyomás elég nagy legyen ahhoz, hogy a forró extrudálási folyamat során 150 μm-nél kisebb szemcseméretet érjen el.
√ A rézcső nyersdarabot természetesen szobahőmérsékletre hűtik, majd kiegyenesítik. Ha a rézcső fala nagyobb, mint 20 mm, akkor az
szükséges a csövet 200-300 fokra melegíteni a kiegyenesítés előtt.
√ A rézcső-darabot a kívánt specifikáció szerint vágják és megmunkálják, és hűtőfolyadékot kell permetezni, hogy megakadályozzák a rézcső célpontjának deformálódását
megmunkálási igénybevétel miatt.
√ Köszörülés és polírozás után a kész forgó réz célanyagot kapjuk.
A síkcélokhoz képest a forgó céltárgy több anyagot tartalmaz és nagyobb kihasználtságot kínál, ami hosszabb gyártási futást és csökkent rendszerleállást jelent, növeli a bevonóberendezés áteresztőképességét. Emellett a forgó porlasztó céltárgy nagyobb teljesítménysűrűség alkalmazását teszi lehetővé, mivel a hőfelhalmozódás egyenletesen oszlik el a céltárgy felületén. Ennek eredményeként megnövekedett leválasztási sebesség és jobb teljesítmény érhető el a reaktív porlasztás során. A síkcélpontokhoz képest a forgó céltárgy több anyagot tartalmaz és nagyobb kihasználtságot kínál, ami hosszabb gyártási futást és csökkent rendszerleállást jelent, növeli a bevonóberendezés áteresztőképességét. Emellett a forgó porlasztó céltárgy nagyobb teljesítménysűrűség alkalmazását teszi lehetővé, mivel a hőfelhalmozódás egyenletesen oszlik el a céltárgy felületén. Ennek következtében megnövekedett leválasztási sebesség és jobb teljesítmény látható a reaktív porlasztás során.
A Rotary Sputtering Target előnyei
√ Javított egyenletesség, a céltárgy elforgatása elősegíti az egyenletesebb eróziót és lerakódást a felületén. Ahogy a cél forog, más
a célpont területei ki vannak téve az ionbombázásnak, ami egyenletesebb erózióhoz és lerakódási sebességhez vezet.
√ Jobb célfelhasználás, az erózió nagyobb felületre oszlik el, csökkentve a lokális sérüléseket és meghosszabbítva a céltárgy élettartamát. Ez is
segít a folyamat hatékonyságának javításában és csökkenti a célcsere leállási idejét.
√ A megnövelt lerakódási sebesség, a céltárgy forgó mozgása javíthatja az ionizációs és porlasztási hatékonyságot, ami nagyobb lerakódáshoz vezet
sebességgel, miközben csökkenti a kívánt filmvastagság eléréséhez szükséges teljes folyamatidőt.
√ A jobb filmminőség, a jobb célfelhasználás és egyenletesség segít minimalizálni a hibákat, szennyeződéseket és feszültséget a lerakott filmekben,
jobb elektromos, optikai és mechanikai tulajdonságokat eredményez.
Forgó réz célméret
√ OD 2 hüvelyktől 7 hüvelykig
√ ID 1,5 hüvelyk és 6 hüvelyk között
√ Hosszúság 50 hüvelyk és 130 hüvelyk között (1270–3302 mm)
√ Egyedi forgó célpont
√ Ragasztási szolgáltatás elérhető
A Fabmann a lehető legnagyobb sűrűségű és lehető legkisebb szemcseméretű, nagy tisztaságú rézporlasztásos céltárgyak szállítására specializálódott félvezető, kémiai gőzleválasztás (CVD) és fizikai gőzleválasztás (PVD) kijelző és optikai alkalmazásokhoz. Szállítunk porlasztó céltárgyakat monoblokkokkal vagy sík céltárgyakkal ragasztott furatokkal és menetekkel, ferdítésekkel, hornyokkal és alátéttel, amelyeket úgy terveztek, hogy mind régebbi porlasztóberendezésekkel, mind a legújabb technológiai berendezésekkel működjenek, mint például nagy felületű bevonat napenergiához vagy üzemanyagcellákhoz. és flip-chip alkalmazások. Egyedi gyártási megoldást tudunk biztosítani minden formájú és konfigurációjú célponthoz, amely kompatibilis az összes szabványos fegyverrel, beleértve a kör alakú, téglalap alakú, gyűrű alakú, ovális, forgó és kutatási méretű fegyvereket. A nagy tisztaságú rézporlasztó céltáblák mellett a Fabmann normál oxigénmentes rézlemezeket is szállít különböző minőségekkel, mint például CW008A (C10200), CW009A (C10100), CW004A (C11000), CW0024A (C12200), valamint vékony lemezeket is tudunk szállítani. 30 mm vastagságú lemezek.
Népszerű tags: rézporlasztási célpont, Kína, gyártók, beszállítók, gyár, egyedi
